具有可定制测量组件的全自动晶圆平整度计量平台。
QQ在线咨询联系方式公司电话：86(21)50473900UltraSort II是一个灵活的，高通量的全自动平台，该平台集成了任何Tropel晶圆平整度测量系统，可提供SEMI M1中所述的全表面弯曲，翘曲，TTV和步进仿真参数。 UltraSort II还可以接受其他模块，包括其他暗盒，另一个干涉仪，OCR，ROA等。 系统模块化使您可以从自动晶圆平整度检查系统中获得更多价值。 UltraSort II平台旨在实现全面的工厂自动化，包括SECS / GEM，GEM 300主机系统以及其他自定义数据导出系统。
重要技术参数 |
晶片可用配置 |
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符合CE标准 |
2”-6” 打开的暗盒 |
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符合S2 / S8标准 |
4”-8” 打开的暗盒 |
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ISO 9001:2015, 9014:2015, 14001 |
300mm FOUP |
通量 |
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FlatMaster夹紧/松开 |
150 wph |
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FlatMaster夹紧/松开/厚度 |
120 wph |
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FlatMaster MSP夹紧/松开/厚度 |
60 wph |
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