康宁Tropel公司制造的Tropel UltraFlat 200掩模系统是专门为光掩模行业设计的。它的低测量不确定性使UltraFlat System成为当今日益严格的掩模平坦度规格的理想工具。推动更小的设备功能要求光掩模必须非常平坦。 UltraFlat系统用于在整个制造过程的每个阶段测量光敏坯和光掩模的平坦度,包括抛光,涂覆,构图,薄膜安装和分析薄膜应力效果。
UltraFlat系统利用近法线入射干涉仪,坚如磐石的结构设计,先进的光学器件和康宁Tropel著名的相移分析软件。提供高达6 nm的测量不确定度。该系统可追溯至NIST,并提供符合SEMI标准的测量值。还提供自动光掩模处理和测量配置以及洁净室选项。
Tropel UltraFlat 200 掩模系统规格
性能
不确定度
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6nm
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动态范围
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10μm
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掩模尺寸
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6英寸(6025、5009和其他尺寸请求)
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测量数据点
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≤1000000 /测量
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测量时间
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≤30s
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标准测量
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前面引用的平面度,局部斜率,应力,微波纹度,x-y polyfit
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数据分析
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三维,轮廓,等距,直方图和站点图,站点分析
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数据管理
数据储存
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80gb硬盘
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通讯系统
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10 / 100-BaseT以太网
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操作系统
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Windows XP
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尺寸大小
干涉仪外壳和底座
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89 cm x 117 cm x 132 cm (35 in x 46 in x 52 in)
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计算机工作站
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66 cm x 66 cm x 168 cm (26 in x 26 in x 66 in)
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重量
干涉仪外壳和底座
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400 kg (880 lb)
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计算机工作站
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34 kg (75 lb)
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选项
全自动1类掩模室
自动化掩模处理和分类