Corning Tropel UltraFlat 200 掩模系统

康宁Tropel公司制造的Tropel UltraFlat 200掩模系统是专门为光掩模行业设计的。它的低测量不确定性使UltraFlat System成为当今日益严格的掩模平坦度规格的理想工具。推动更小的设备功能要求光掩模必须非常平坦。 UltraFlat系统用于在整个制造过程的每个阶段测量光敏坯和光掩模的平坦度，包括抛光，涂覆，构图，薄膜安装和分析薄膜应力效果。
UltraFlat系统利用近法线入射干涉仪，坚如磐石的结构设计，先进的光学器件和康宁Tropel著名的相移分析软件。提供高达6 nm的测量不确定度。该系统可追溯至NIST，并提供符合SEMI标准的测量值。还提供自动光掩模处理和测量配置以及洁净室选项。

Tropel UltraFlat 200掩模系统可为光掩模提供非常难得的平坦度测量。 提供手动处理，全自动机械手处理和1级无尘室环境选项。

Tropel UltraFlat 200 掩模系统规格

性能

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不确定度	6nm
动态范围	10μm
掩模尺寸	6英寸（6025、5009和其他尺寸请求）
测量数据点	≤1000000 /测量
测量时间	≤30s
标准测量	前面引用的平面度，局部斜率，应力，微波纹度，x-y polyfit
数据分析	三维，轮廓，等距，直方图和站点图，站点分析

数据管理

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数据储存	80gb硬盘
通讯系统	10 / 100-BaseT以太网
操作系统	Windows XP

尺寸大小

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干涉仪外壳和底座	89 cm x 117 cm x 132 cm (35 in x 46 in x 52 in)
计算机工作站	66 cm x 66 cm x 168 cm (26 in x 26 in x 66 in)

重量

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干涉仪外壳和底座	400 kg (880 lb)
计算机工作站	34 kg (75 lb)

选项

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全自动1类掩模室
自动化掩模处理和分类